氮气烤箱MEMS封帽工艺烘烤除湿烤箱
氮气烤箱就是在烤箱的基础上加装氮气接口，可向干燥箱的工作室内部充入高纯度氮气，可以提供一个无氧的高温烘箱环境，适用于各类活性较强的易氧化物料高温烘烤。氮气烤箱又可分为普通氮气烤箱和洁净氮气烤箱。
普通的氮气烤箱需要对烤箱的工作室做满焊满烧处理，加强箱门的密封性，防止充入的氮气因正压而泄漏，导致使用成本提高。干燥箱的进风口和出风口都要做密闭处理，靠氮气气源作为外来气体进入箱体内部循环。防止易氧化的物料在高温环境下发生氧化。MEMS封帽之前的器件烘箱是为了去除湿气，干燥后的物料转移到封帽腔的中，湿度的影响会导致产品的不良率。
洁净烤箱一般都是具备氮气接口功能的，外部环境的空气经过HEPA高效过滤器后进入箱内内部，会提高一个达标的（百级或千级）洁净环境以供有洁净环境需求的工艺使用。充入氮气不仅可以实现快速降温，还可以防止物料氧化的现象发生。
